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一种双质量块音叉式角速率陀螺仪.pdf

摘要
申请专利号:

CN201610878920.2

申请日:

2016.10.08

公开号:

CN106813655A

公开日:

2017.06.09

当前法律状态:

实审

有效性:

审中

法?#19978;?#24773;: 实质审查的生效IPC(主分类):G01C 19/5621申请日:20161008|||公开
IPC分类号: G01C19/5621(2012.01)I 主分类号: G01C19/5621
申请人: 南京理工大学
发明人: 杨海波; 苏岩; 吴志强; 张晶
地址: 210094 江苏省南京市玄武区孝陵卫200号
优?#28909;ǎ?/td>
专利代理机构: 南京理工大学专利中心 32203 代理人: 朱沉雁
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法律状态
申请(专利)号:

CN201610878920.2

授权公告号:

|||

法律状态公告日:

2017.07.04|||2017.06.09

法律状态类型:

实质审查的生效|||公开

摘要

本发明公开了一种双质量块音叉角速率陀螺仪,包括上层真空封装盖板、下层硅衬底和中层单晶硅片,中层单晶硅片上设有陀螺机械结构,所述陀螺机械结构的两个子结构对称分布在质量块连接机构和两个桁架与水平直梁的组合机构的两侧,第一U型梁沿子结构的长边设置,且位于长边的两端,桁架与水平直梁的组合机构通过第一U型梁与子结构连接,U型梁组合梁沿子结构的长边设置;直梁沿子结构宽度方向设置,用于连接子结构两侧的第一U型梁。本发明既能实现驱动模态与检测模态为第一阶模态和第二阶模态,又能有效?#31181;?#25152;有常见的驱动同向、检测同向和Z向模态等干扰模态,其一致性强,抗振动干扰能力强。

权利要求书

1.一种双质量块音叉角速率陀螺仪,其特征在于:包括上层真空封装盖板、下层硅衬底
和中层单晶硅片,中层单晶硅片上设有陀螺机械结构,所述陀螺机械结构包括质量块连接
机构(2)、两个子结构(1)、两个桁架与水平直梁的组合机构(3)、两个U型梁组合梁(4)、八个
第一U型梁(6)和四个直梁(12),所述两个子结构(1)对称分布在质量块连接机构(2)和两个
桁架与水平直梁的组合机构(3)的两侧,质量块连接机构(2)和两个桁架与水平直梁的组合
机构(3)呈直线分布,且质量块连接机构(2)位于两个桁架与水平直梁的组合机构(3)之间,
第一U型梁(6)沿子结构(1)的长边设置,且位于长边的两端,桁架与水平直梁的组合机构
(3)通过第一U型梁(6)与子结构(1)连接,U型梁组合梁(4)沿子结构(1)的长边设置,且位于
远离质量块连接机构(2)一侧的两个第一U型梁(6)的中间;直梁(12)沿子结构(1)宽度方向
设置,用于连接子结构(1)两侧的第一U型梁(6)。
2.根据权利要求1所述的双质量块音叉角速率陀螺仪,其特征在于:位于子结构(1)同
一侧的两个U型梁(6)开口方向相对。
3.根据权利要求1所述的双质量块音叉角速率陀螺仪,其特征在于:所述质量块连接机
构(2)包括十字梁(201)和4个第二U型梁(202),十字梁(201)宽度方向的两端分别通过两个
开口相对设置的第二U型梁(202)与子结构(1)连接,十字梁(201)长度方向的两端均与上层
真空封装盖板和下层硅衬底锚固。
4.根据权利要求3所述的双质量块音叉角速率陀螺仪,其特征在于:所述两个开口相对
设置的第二U型梁(202)的开口端相连。
5.根据权利要求1所述的双质量块音叉角速率陀螺仪,其特征在于:所述桁架与水平直
梁的组合机构(3)包括V型桁架(301)和水平直梁(302),V型桁架(301)的顶点与水平直梁
(302)中心连接,水平直梁(302)与质量块连接机构(2)同侧,V型桁架(301)的两个自由端与
第一U型梁(6)封闭端侧壁连接,水平直梁(302)两端均与上层真空封装盖板和下层硅衬底
锚固。
6.根据权利要求1所述的双质量块音叉角速率陀螺仪,其特征在于:所述U型梁组合梁
(4)包括两个第三U型梁(401),两个第三U型梁(401)开口端相连,连接处外壁与上层真空封
装盖板和下层硅衬底锚固。

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一种 质量 音叉 速率 陀螺仪
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